ASM181T氦质谱检漏仪的部件工作原理

真空检漏 刘朝晖 阿尔卡特

1.ASM181T氦质谱检漏仪的工作气路(图1) 。

ASM181T 氦质谱检漏仪

 

2.ASM181T氦质谱检漏仪工作准备过程( 自动内部校准)

        (1) 预抽。合上检漏仪电源开关,粗抽泵启动,循环指示按钮的绿色指示灯闪亮。

        (2) 当初压力达到设定值( 大约5s 后) ,P 指示灯亮,分子泵启动,分子泵转速达到正常转速大约需要2~3min,当分子泵转速达到正常转速时,分子泵转速指示OK 灯亮。同时,灯 丝启动,灯丝开关指示灯闪亮大约8s 后, 指示灯亮, 灯丝点亮。

        (3) 检漏仪自动标定。AUTOCAL 开关红色指示灯闪亮,如果没有故障,几秒钟后绿色指示灯亮,内部漏孔通大气。表示检漏仪自检完成,可以工作了。

3.ASM181T氦质谱检漏仪检漏过程

        (1) 粗抽。按下遥控器上的循环启动按钮,粗检阀4 打开,遥控器右侧压力显示光柱下降。

        (2) 大漏检测方式。如果按下粗检按钮,当真空达到6×102MPa时,分子泵排气口阀6 打开,遥控器中间光柱显示当前漏率。

        (3) 细检方式。如果不按下粗检按钮,当真空达到2×10-4MPa 时,粗检阀4 关闭,细检阀5 打开,遥控器左侧光柱显示当前漏率。

4.ASM181T氦质谱检漏仪的质谱室工作原理

         质谱室工作原理(图2) 。

检漏仪的质谱室工作原理

 

         质谱室是用来检测氦的分压强。当质谱室内的总压强(真空度) <10-6MPa 时,电离室中由钨丝制成的灯丝启动,加热后产生高速电子轰击离子源中的气体分子,使分子电离。大部分的气体分子都能变成离子, 离子在电场中被(加速电压) 加速,从而进入与其垂直的偏转磁场,不同质量数的离子其偏转半径不同。加速电压使得氦离子可以打到放大器的入口(电子倍增器) ,从而检测出氦离子流的强度,氦离子流与容器内的氦分压成正比, 因此对氦离子的测量可以确定被检件的漏率