无油涡旋真空泵的特点与应用领域

2020-04-18 真空技术网 真空技术网整理

  清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境。自能够创造真空环境开始,人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果。时至今日,清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、住赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品。在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点:

  ①无油,无摩擦——真空腔内无油,非接触,无磨损,不产生微粒尘埃污染,可获得清洁真空;

  ②抽气量大——双涡旋盘,结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍,节省能源;

  ③抽气效率高——带有3-4个抽气单元,压差小;大气与真空之间由O型圈密封,泄漏低;

  ④非接触,良好平衡,力矩影响小,噪音低,振动小;

  ⑤结构简单紧凑,相同尺寸下,运动半径小,运行平稳;

  ⑥体积小,维修方便,维护费用低;

  ⑦采用空气冷却,无需水冷。

  目前无油涡旋真空泵的应用领域为:

  ①半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备;

  ②科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;

  ③机械设备行业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备;

  ④化学工业;

  ⑤医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备;

  ⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。